ＵＬＶＡＣ単相１００Ｖダイアフラム型ドライ真空ポンプ全幅１８１ｍｍ DA-81S ( DA81S ) （株）アルバック

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特長：	ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途：	吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機。
仕様：	排気速度(L/min)50/60Hz：75/85到達圧力(Pa)：13.3×10［［の３乗］］吸気口径(mm)：12電源(V)：単相100全幅(mm)：181全長(mm)：336.5全高(mm)：217電源コード長さ(m)：1.8一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)低速低圧用
注意：	ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にす

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